深耕核心工艺 培育半导体行业“生态林”

●　本报记者　王婧涵

“保障产业链每一个环节都不掉链子，是比短期算财务账更重要的战略选择。”至纯科技董事长蒋渊在接受中国证券报记者专访时，道出了公司在半导体热潮中的冷静抉择。

从高纯工艺系统出发，深耕行业25年，至纯科技已成长为覆盖“工艺－装备－材料”的综合服务商，不仅在湿法设备上实现全工艺覆盖与订单突破，还建成了完全国产化的12英寸晶圆对应28纳米的大宗气体供应工厂。蒋渊将这套打法比喻为植树造林——用攻克最难技术的决心扎下“技术深根”，再用贴近客户的服务与供应链培育行业生态，打造能独立生长、抵御风雨的行业“生态林”。

持续拓展核心能力

“半导体是一个周期性很强的产业，自2000年成立以来，我们从高纯工艺起家，围绕‘三位一体’的战略构想，从单一系统集成商向‘工艺－装备－材料’综合服务商发展，不断扩展能力圈，在集成电路晶圆制造和先进封装领域提供制程设备、高纯工艺设备和系统以及相关的电子材料。”蒋渊向记者介绍。

作为能力圈的原点，至纯科技在系统集成领域通过多年的耕耘，积累了专业务实、以客户为中心的决策和执行团队，收获了高黏性的长期用户。

蒋渊表示：“高纯工艺是半导体制造所有核心工艺得以实现的关键支撑环节和基础保障，为核心工序创造稳定可靠的环境。至纯科技在高纯工艺领域已经是国内头部的专业厂商，我们设计制造和建设的高纯气体设备及系统和高纯化学品设备及系统分别服务于干法和湿法工艺用户，和多家头部企业都有紧密合作。”

在此优势基础上，公司选择将研发投向难度更大、空白点更多的工艺机台方向。

蒋渊表示，近两年半导体行业获得了极高的市场关注度：“这是机遇也是挑战。短期内企业有很多方式能快速吸引市场的热钱和资源，但如果没有坚定的价值和信念去挑战更深更难的技术，这种表象上的活力是难以为继的。”

“因此，至纯科技聚焦攻克最难的技术空白点，坚持以全工艺覆盖为目标，咬牙完成湿法四个平台全工艺覆盖性开发。”蒋渊表示，“我们不做机会主义者，而是咬紧牙关，一个节点、一个节点地实现技术突破。因为我们相信，在极端情况下，保障产业链的每一个环节都不掉链子，是比短期算账更重要的战略选择。”

目前，至纯科技布局的湿法设备在产品平台和工艺搭载上已基本覆盖了全部湿法工艺。其中，28纳米节点设备开发已经全部完成，全工艺机台均有订单；在更先进制程节点，聚焦先进湿法设备的子公司至微科技也已取得部分工艺订单。高阶设备方面，对于高温硫酸、FIN　ETCH、单片磷酸等机台产品，至纯科技的交付和验证进度均处于国内领先水平。

在电子材料方面，至纯科技大宗气站的业务拓展顺利。2022年初，至纯科技投资和设计建设的国内首座完全国产化的12英寸晶圆对应28纳米的大宗气体供应工厂指标完全达标并已持续稳定运行，成功打破半导体级大宗气站由海外供应商垄断的格局；2024年，公司第二座服务于客户12英寸晶圆量产线的大宗气站已进入运营阶段，随着客户的产能爬升，将为公司贡献稳定可观的营收。

“虽然前期资本开支大，但一旦投入运营，大宗气站至少15年的长期合约能带来极其稳定、可预测的现金流，毛利率随着运营效率提升而持续优化，是穿越产业周期的压舱石。”蒋渊说。

平衡技术研发广度和深度

“公司所有技术研发和业务布局目标都是让企业的技术和生产能力不断伸向行业最核心的地带，成为产业链的中坚力量。如果用树来比喻，我希望至纯科技能根深叶茂、享受阳光、抗住风雨。”蒋渊进一步解释，“技术纵深是企业的根，这要求我们有明确的战略方向和战略定力，有板凳要坐十年冷的决心，在核心的物理、化学原理上持续深耕，做到确定和极致。应用广度意味着要持续保持精进，有敏锐的市场嗅觉、贴近用户，并主动将共性技术横向复用到更广阔的产业场景中去。”

她认为，企业在进行技术研发时需要在技术纵深与应用广度中寻求平衡：“我们的研发包括三个层面：立足当下，确保生产设备紧密契合市场与客户需求；着眼近期，深入客户一线以预判趋势并启动针对性、跟动性研发；布局长远，致力于形成面向未来的战略性技术储备。”

截至2025年上半年，至纯科技集团已累计申请专利865件（其中发明专利356件），已授权专利615件（其中发明专利194件），软件著作权185件，注册商标163件，体现了公司的创新发展能力。

蒋渊表示，公司每个研发项目都必须经过严格的评审，从市场需求、技术可行性、财务回报等多个维度进行评估。“但比起财务回报，我们更看重项目的战略必要性，如能否帮助公司获得关键客户、打造行业标杆或突破相关技术等。公司的成熟业务可以提供稳定现金流，为这些前沿技术攻关提供弹药。”

不低于50％、不高于65％，是蒋渊为公司投融资部门设下的负债率控制区间。她表示，负债率设下限是为了保证有足够的资金投入、抓住发展机遇，不错失能力范围内的任何机会；而设置上限，则是为了严格管控风险，确保经营的稳健性。“这是我们基于战略发展需要做出的主动且理性的选择。”她表示。

发展行业“生态林”

“在至纯科技创立之初，中国半导体行业还像一片沙漠，生命零星且没有适合生存的环境。随着行业不断发展，从引进国际设备建设‘人造林’到现在不断向原生‘生态林’进化，我们深切地知道伙伴和生态在行业中的重要性。”蒋渊表示。

她举例道，在国内高纯工艺系统主流12寸晶圆厂的特气项目中，至纯科技的中标率很高，超越了不少国际供应商。

“这并非偶然，在这样一个看似传统的领域，我们没有墨守成规，而是深刻理解客户的工艺需求，提供包括参数设计、安全方案在内的整体解决方案。我们建立了覆盖全国主要半导体聚集区的现场服务团队，能提供7x24小时的快速响应。同时还提供TGM（气体管理）／TCM（化学品管理）驻厂服务，这种客户优先、随叫随到的贴身服务，是国际大厂难以比拟的。”蒋渊说。

过去数年，至纯科技也成立专项工作小组进行本土上游供应链培养，在知识产权自主的基础上，进一步准备好供应链自主，为服务本土用户的快速发展打好了基础。

“至纯科技的核心价值主张之一是成为客户首选的供应商，这要求我们成为与客户一起成长发展的伙伴。我们的研发不仅聚焦工艺难题，也致力于通过设备架构创新为客户创造实际价值。”蒋渊说。